項次 | 儀器名稱 | 服務細項 | 聯絡人/分機 | 收費標準(現金) |
學術單位 | 營利事業單位 |
1 | Jasco V-670 光譜儀 | 量測範圍： 190nm-2700nm 量測項目：穿透率、 吸收係數、5 度角絕對 反射率、膜厚、折射 率和能隙推估 | 林克默(3532) | 1500元/小時 | 2000元/小時 |
2 | Woollam U-2000多角度光譜式橢圓儀(Ellipsometer) | 量測範圍： 190nm-1000nm 量測項目：多角度折 射率、消光係數 | 林克默(3532) | 1500元/小時 | 2000元/小時 |
3 | Ecopia HMS-3000 Hall 量測(0.5T or 1.0T) | 量測項目：薄膜或樣 品 電阻率、載子濃 度、遷移率 量測條件：室溫，液 態氮溫度費用另計。 | 林克默(3532) | 1500元/小時 | 2000元/小時 |
4 | 四點探針 | 薄膜電阻量測 | 林克默(3532) | 1500元/小時 | 2000元/小時 |
5 | 電子束蒸鍍機 (E-Beam) | 開機費+機台使用費 (靶材：Ti、Cr、Ni、Al) | 林克默(3532) | 1000元/小時 | 1500元/小時 |
6 | 奈米壓痕儀 | 量測表面硬度和平面應變等，應力-位移曲線圖 | 王聖璋(3548) | 五壓痕點以下: 320/點 五壓痕點以上: 2150/hour | 五壓痕點以下: 480/點 五壓痕點以上: 2800/hour |