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光電系儀器設備服務

南臺科技大學—光電系儀器設備服務收費標準一覽表     

項次

儀器名稱

服務細項

聯絡人/分機

收費標準(現金)

學術單位

營利事業單位

1.

SPUTTER 濺鍍機

雙源濺鍍金屬、常用半導體膜層

吳祐銘/3601

1000元/小時

1000元/小時

2.

快速退火爐

以快速升降溫的方式對材料進行熱處理(最高800度C)

吳祐銘/3601

500元/小時

500元/小時

3.

四點探針量測儀

矽晶圓等半導體常用材料、膜層之電阻測量

吳祐銘/3601

4000元/小時

4000元/小時

4.

電子槍蒸鍍機E-GUN

 沉積半導體常用膜層如金屬導電膜

吳祐銘/3601

1200元/小時

1200元/小時

                                                                       (109/9更新)