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公告:新增儀器資訊–E-beam 蒸鍍機

公告類型: 一般公告
點閱次數: 551

為了保持電子束蒸鍍機的永續使用並基於使用者付費之精神,凡使用此電子束蒸鍍機之使用者與其指導教授,必須同意支付此一機台使用的使用費用,以利本機台所需耗材與維修費用的支應。其相關費用與執行之規定方式如下:

 

1.          靶材除了貴重金屬(Au) 的使用需另行計費或自行提供外,其餘皆由本實驗室免費提供。(目前本實驗室可提供AlCr靶材)

2.          機台使用費如以下表格所示(不包含鍍膜前抽真空時間)

                                             (不滿1個小時以1小時計算)

項次

單位

儀器名稱

服務細項

收費標準(現金)

學校單位

研究單位

營利事業單位

 

奈米中心

電子槍蒸鍍系統

機台

使用費

校內

校外

1200/

1500/

1000

/

1200

/

3.          貴重金屬(Au)靶材的計費,Au每蒸鍍50 nm厚收取新台幣1,000元整。

4.          以上各項辦法與收費標準,未來將視實際執行情況做調整,並予以通知。

申請表請至表單下載,歡迎預約使用!!

發布日期: 2012/08/06
發布人員: 王芊樺