為了保持電子束蒸鍍機的永續使用並基於使用者付費之精神，凡使用此電子束蒸鍍機之使用者與其指導教授，必須同意支付此一機台使用的使用費用，以利本機台所需耗材與維修費用的支應。其相關費用與執行之規定方式如下：
1. 靶材除了貴重金屬(Au) 的使用需另行計費或自行提供外，其餘皆由本實驗室免費提供。(目前本實驗室可提供Al、Cr靶材)。
2. 機台使用費如以下表格所示(不包含鍍膜前抽真空時間)。
(不滿1個小時以1小時計算)
|
項次 |
單位 |
儀器名稱 |
服務細項 |
收費標準(現金) |
|
學校單位 |
研究單位 |
營利事業單位 |
|
|
奈米中心 |
電子槍蒸鍍系統 |
機台
使用費 |
校內 |
校外 |
1200元/時 |
1500元/時 |
|
1000
元/時 |
1200
元/時 |
3. 貴重金屬(Au)靶材的計費，Au每蒸鍍50 nm厚收取新台幣1,000元整。
4. 以上各項辦法與收費標準，未來將視實際執行情況做調整，並予以通知。
申請表請至表單下載，歡迎預約使用!!